当研究室に所属している田辺助教が考案した高速・高効率なマルチアングル干渉(Multi-Angle Interferometry)計測に関する論文が出版されました。本技術により、従来には深さ計測を行うためには多数回のフーリエ変換を伴う光伝搬計算が必要であったものを、極めてシンプルな演算のみから高速かつ高精度に3次元計測が可能になります。本原理を用いることで、生産ラインでのリアルタイム3Dセンサーや微細形状評価、検査装置などの開発も期待されます。
論文情報:
A. Tanabe*, Y. Uesugi, and Y. Kozawa, “Fast and precise multi-angle interferometry for efficient 3D surface profiling,” Opt. Lett., 51, 1919-1922 (2026).
doi: 10.1364/OL.587805
